测试探针接触阻抗的大小与多个因素有关，如探针头形状、压力、被测器件材料等。
一、表面污染
探针表面如果存在污染物，会导致探针阻值升高。表面污染一般是由于样品残留、试剂残留、氧化等导致的。这时可以用酒精、纯水、玻璃纤维笔等方法进行清洗，以保证表面清洁。
二．氧化
当探针与空气或其它氧化剂接触时，探针表面可能会发生氧化反应，形成绝缘层或高电阻层，导致探针阻值增大。
三、杂散电磁场干扰
在一定电磁场作用下，探针会受到电磁波的影响，导致探针阻值变大。遇到这种情况，可以更换采集位置，或者改变周围环境，减小电磁场的干扰。
四、接触不良
探针接触部分存在一定的阻抗，如果接触不良，就会导致实际测量阻值的增大。需要注意的是，探针的接触要均匀、紧密，由于接触部位不当而导致阻值大的情况比较常见。
五、温度效应
温度变化可能导致探针材料的热胀冷缩，高温环境下探针材料电阻可能增大。
以上是探针阻值大的几种常见原因，下面介绍几种解决方法：
1、清洁探针表面：如采用玻璃纤维笔进行刮拭；
2、在测量时避免电磁场的影响；
3、保证探针接触良好，修整探针接触部分。
4、避免过度磨损或磨划探针表面，正确操作和使用。
通过以上方法，可以解决探针阻值大的问题，并保证实验数据的准确性。